本產(chǎn)品主要用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序，可支持 6″至 12″Frame 的物料規(guī)格。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
觸摸屏控制、操作簡(jiǎn)單；
使用壽命長(zhǎng)，20000~30000小時(shí)，幾乎沒(méi)有維護(hù)費(fèi)用；
光源輸出能量強(qiáng)、均勻度高、持續(xù)穩(wěn)定；
多種控制方式，即時(shí)可控，功率可調(diào)；
時(shí)間和功率可階梯設(shè)置，能滿(mǎn)足各種自動(dòng)化配套使用需求；
| 項(xiàng)目 | 桌面型（FUGN – 2006） | 落地型（FUHDN – 2008） |
|---|---|---|
| 用途 | 用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序 | 用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序 |
| 物料規(guī)格 | 可支持 6″- 12″Frame | 可支持 6″- 12″Frame |
| UV 單元 | 1 套 LED – UV 模組 | 1 套 LED – UV 模組 |
| UV 波長(zhǎng) | 365nm±5nm | 365nm±5nm |
| 照射強(qiáng)度 | 50 – 500mW/cm2，照射強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，可程序調(diào)節(jié) | 50 – 500mW/cm2，照射強(qiáng)度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，可程序調(diào)節(jié) |
| 顯示 / 設(shè)定 / 操作 | 觸摸屏的顯示 / 設(shè)定 / 操作 | 觸摸屏的顯示 / 設(shè)定 / 操作 |
| 照射模式 | 自動(dòng)照射（設(shè)定照射功率、照射時(shí)長(zhǎng)，按設(shè)定的時(shí)長(zhǎng)完成照射，照射時(shí)長(zhǎng)范圍：0 – 9999.9 秒，間隔時(shí)間 0.1 秒）；手動(dòng)照射（設(shè)定照射功率，手動(dòng)控制照射時(shí)長(zhǎng)或長(zhǎng)亮照射）；階梯照射（設(shè)定 8 個(gè)步驟，單步的功率和時(shí)間可自由設(shè)定，按設(shè)定的步數(shù)進(jìn)行觸發(fā)） | 自動(dòng)照射（設(shè)定照射功率、照射時(shí)長(zhǎng)，按設(shè)定的時(shí)長(zhǎng)完成照射，照射時(shí)長(zhǎng)范圍：0 – 9999.9 秒，間隔時(shí)間 0.1 秒）；手動(dòng)照射（設(shè)定照射功率，手動(dòng)控制照射時(shí)長(zhǎng)或長(zhǎng)亮照射）；階梯照射（設(shè)定 8 個(gè)步驟，單步的功率和時(shí)間可自由設(shè)定，按設(shè)定的步數(shù)進(jìn)行觸發(fā)） |
| 調(diào)光 / 照射控制 | 數(shù)字調(diào)光、手動(dòng)照射控制或定時(shí)器控制（0 – 9999.9 秒，間隔時(shí)間 0.1 秒） | 數(shù)字調(diào)光、手動(dòng)照射控制或定時(shí)器控制（0 – 9999.9 秒，間隔時(shí)間 0.1 秒） |
| LED 溫度檢測(cè) | 裝載熱敏電阻，監(jiān)控 LED 燈珠溫度 | 裝載熱敏電阻，監(jiān)控 LED 燈珠溫度 |
| LED 光源異常反饋 | 檢出 LED 光源的斷路、短路、超溫、亮光 | 檢出 LED 光源的斷路、短路、超溫、亮光 |
| LED 光源冷卻方式 | 風(fēng)扇的強(qiáng)制空冷 | 智能冷卻系統(tǒng)的水冷 |
| 上料 / 下料 | 手動(dòng) | 手動(dòng) |
| 氣體 | 氮?dú)?/td> | 氮?dú)?/td> |
| 氧氣監(jiān)控 | 設(shè)備可監(jiān)控倉(cāng)內(nèi)氧氣濃度，界面可顯示出氧氣含量數(shù)據(jù) | 設(shè)備可監(jiān)控倉(cāng)內(nèi)氧氣濃度，界面可顯示出氧氣含量數(shù)據(jù) |
| 氮?dú)獗Ｗo(hù) | 有氮?dú)獗Ｗo(hù)罩，用于氮?dú)獗Ｗo(hù)，流量可調(diào)節(jié)；氮?dú)鈮毫?0.2 – 0.4Mpa，氣管外徑 8mm（插入設(shè)備） | 有氮?dú)獗Ｗo(hù)罩，用于氮?dú)獗Ｗo(hù)，流量可調(diào)節(jié)；氮?dú)鈮毫?0.2 – 0.4Mpa，氣管外徑 8mm（插入設(shè)備） |
| 照射方式 | 面陣式 | 掃描式 |
| 掃描速度 | 無(wú) | 0 – 100mm/s，程序可設(shè)定 |
| 輸入電壓 / 頻率 | AC 220V 50Hz/60Hz | AC 220V 50Hz/60Hz |
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