一、產(chǎn)品型號與用途：

本產(chǎn)品有桌面型（FUGN-2006）和落地型（FUHDN-2008）兩種型號。主要用于硅晶圓、玻璃、陶瓷等產(chǎn)品切割后的解膠工序，可支持 6″至 12″Frame 的物料規(guī)格。

二、技術(shù)參數(shù)：

1. UV 單元：配備 1 套 LED-UV 模組，UV 波長為 365nm±5nm。照射強度在 50~500mW/cm2范圍內(nèi)，且可實時監(jiān)測并通過程序調(diào)節(jié)。

2. 顯示與操作：采用觸摸屏進行顯示、設(shè)定和操作。

3. 照射模式： – 自動照射：可設(shè)定照射功率和時長，照射時長范圍為 0 – 9999.9 秒（間隔時間 0.1 秒），按設(shè)定時長完成照射。 – 手動照射：設(shè)定照射功率后，可手動控制照射時長或進行長亮照射。 – 階梯照射：可設(shè)定 8 個步驟，單步的功率和時間可自由設(shè)定，按設(shè)定步數(shù)進行觸發(fā)。

4. 調(diào)光與照射控制：可通過數(shù)字調(diào)光、手動照射控制或定時器控制（時間范圍為 0 – 9999.9 秒，間隔時間 0.1 秒）。

5. LED 溫度檢測：裝載熱敏電阻，能夠監(jiān)控 LED 燈珠溫度。

6. LED 光源異常反饋：可檢出 LED 光源的斷路、短路、超溫、亮光等異常情況。

7. LED 光源冷卻方式： – 桌面型為風扇的強制空冷。 – 落地型為智能冷卻系統(tǒng)的水冷。

8. 上料/下料：均為手動操作。

9. 氣體：采用氮氣，設(shè)備可監(jiān)控倉內(nèi)氧氣濃度，界面可顯示氧氣含量數(shù)據(jù)。同時，有氮氣保護罩用于氮氣保護，氮氣壓力為 0.2 – 0.4Mpa，氣管外徑 8mm（插入設(shè)備），流量可調(diào)節(jié)。

10. 照射方式： – 桌面型為面陣式。 – 落地型為掃描式，掃描速度為 0 – 100mm/s，可通過程序設(shè)定。

三、注意事項** 需注意，根據(jù)公司測量基準，上述數(shù)值為代表值，并非保證值。